傳感器彈性元件因其材料的滯彈性效應而存在固有的微蠕變特性，變現為傳感器的輸出隨時間增加而增加（正負蠕變）。電阻應變計的基底和貼片所用粘結劑具有一定的粘彈性，使應變計的輸出隨時間的增加而減少，而敏感柵材料存在滯彈性效應使應變計輸出隨時間的增加而增加，迭加的結果比例及相關工藝以調節其方向和數值，就能對彈性元件本身的滯彈性進行補償。同樣，對傳感器制造過程中其他因素引入的蠕變誤差也可以進行調整。并把傳感器的綜合蠕變值控制在要求范圍之內。
彈性體確定后選擇在應變計時，可根據應變計生產廠家提供的蠕變標號信息，選擇一種或相鄰蠕變標號之間的應變計來做實驗，根據實測的綜合數據最終確定與該傳感器相匹配的應變計。此外傳感器的綜合蠕變除于彈性體，應變計，粘結劑等主要因素有關外，還受夾具壓力的輕重，固化溫度的高低及時間控制，密封結構形式，防護膠，生產工藝等影響，綜治選擇應變計蠕變標號時應一并考慮。
